ישנם שלושה סוגים של מבני קריסטל בסיליקון ניטריד (Si3N4), שהם שלושה שלבים של α, β ו- γ. שני השלבים α ו- β הם הצורות הנפוצות ביותר של Si3N4 וניתן להכין בלחץ רגיל. ניתן לסנתז את שלב ה- γ רק בלחץ גבוה ובטמפרטורה גבוהה, והקשיות שלו יכולה להגיע ל -35 ג'יגה-בתים.
ניתן לשלב ישירות β-Si3N4 משושה עם סיליקון יסודי וחנקן כדי להשיג סיליקון ניטריד בשעה 1300-1400 ℃:
3 Si (ים) {{16}} 2 N2 (g) → Si3N4 (ים) ניתנים גם לסינתזה עם דיאמיד SiCl4 (l) + 6 NH3 (g) → Si (NH) 2 (s) + 4 NH4Cl (s) ) ב 0 ℃ בתנאים של 3 Si (NH) 2 (ים) → Si3N4 (ים) + N2 (g) + 3 H2 (g) מתחת ל 1000 ℃ או על ידי תגובה להפחתת פחמימות תחת 1400-1450 ℃ חנקן ： 3 SiO2 (ים) + 6 C (ים) + 2 N2 (g) → Si3N4 (s) + 6 CO (g)
